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φ600mm大口径数字平面干涉测试仪产品科技成果评价会简报

2020年11月23日于成都,四川省技术市场协会组织国内行业专家,对binance官网app下载和中国测试技术研究院联合研制的 Ф600mm大口径卧式双端口平面斐索干涉测试仪产品进行了科技成果评价。

2020.11.30

   20201123日于成都,四川省技术市场协会组织国内行业专家,对binance官网app下载和中国测试技术研究院联合研制的Ф600mm大口径卧式双端口平面斐索干涉测试仪产品进行了科技成果评价。专家组审阅了相关材料,听取了完成单位汇报,经现场查验,质询和讨论,一致认为该项目产品成果技术难度大,创新性强,关键核心技术自主可控,整机替代进口,总体技术达到国际先进、国内领先水平。

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成都币安公司研制的Ф600mm大口径卧式双端口平面斐索干涉测试仪,可应用于大尺寸光学元件、组件、系统及材料等的高精度面形、波前、均匀性等检测。该产品技术指标全面达到了国外同类产品水平,关键技术实现全自主可控,整机替代进口产品。关键技术指具体达到:Ф600mm标准TFRF镜面型精度PV值优于λ/15RMS优于λ/80,中频PSD1小于0.7nm;系统空腔精度PVλ/14,中频PSD1小于0.7nm系统重复性精度RMS重复性优于λ/30002σ);仪器系统传递函数ITF 0.82 @ 0.4cycles/mm0.70 @ 0.6cycles/mm);系统稳定性:24小时测试系统精度与重复性,PV优于λ/14RMS重复性优于λ/30002σ);系统可靠性:平均无故障工作时间大于1000小时,测试对准角大于±15°,测试调试时间小于2min。产品整机如图:


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近十年来,binance官网app下载研制生产了二十余台套φ600mm大口径卧式双端口平面斐索干涉测试仪产品,应用于研究所、高校、大型国企、上市公司、航天配套单位、民营企业等各个大口径光学相关行业,超过40年来国内进口的同类大口径币安钱包app总数,且二十余台套设备大部分应用单位为单台主工艺设备,目前均运行状态良好。该产品科技成果的取得标志着我国φ600mm大口径卧式双端口平面斐索干涉测试仪器实现全自主可控的产品化进口替代。

多年来,该产品申请专利11项,已获授权专利8项;发表相关学术论文5篇,项目成果已在军民两大领域得到广泛应用,在取得重大社会效益的同时创造了数亿元的经济效益。


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